微米級別薄膜材料進行厚度測量，用普通方法測量是相對困難的。利用金相顯微鏡及其配合的軟件測量系統，相對比較圓滿的完成了此次測量任務。
【測試原理】采用
金相顯微鏡檢測橫斷面，直接以標尺以輔助測量金屬覆蓋層、氧化膜層的局部厚度的方法。
【參考標準】GB/T6462-2005
【測試儀器】金相顯微鏡及金相測量軟件
【測試范圍】一般樣品厚度檢測大于1um，才能保證測量結果在誤差范圍之內；厚度越大，誤差越小。
【測試方法的優缺點】這種測試方法的優點在于適用的鍍層范圍內測試結果特別準確，誤差非常小，可以選擇其作為爭議的仲裁決定方法；這種方法的缺點在于制備鍍層測厚試樣的過程耗時費力。
